电阻蒸发镀膜机-EVAP400

产品概述：该设备主要由有机/金属源蒸发沉积室、真空排气系统；真空测量系统；蒸发源；样品加热控温；电控系统；配气系统等部分组成。
产品用途：热蒸发是指把待镀膜的基片或工件置于真空室内，通过对镀膜材料加热使其蒸发气化而沉积于基体或工件表面并形成薄膜或涂层的工艺过程。可在高真空下蒸发高质量的不同厚度的金属薄膜，广泛应用于物理，生物，化学，材料，电子等领域。蒸镀薄膜种类：Au, Cr, Ag, Al, Cu, In,有机物等。

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产品详情

设备型号：EVAP400

设备参数：

真空室结构：方箱式，优质304不锈钢材质，前、后开门结构，前门置于手套箱内水平滑开式，后门为侧开门，便于设备清理维护。

腔体尺寸：500mm×500mm×600mm(L*W*H)

设备尺寸：1200mm×950mm×2000mm(L*W*H)

真空极限：优于（6*10^-5）Pa

升压率：≤0.8Pa/h

设备保压：停泵12小时后，设备真空度≤10Pa。

抽速： 从大气抽至8.0×10^-4Pa所需时间小于40min（设备空载）；从大气抽至8.0×10^-4Pa所需时间小于10min（干燥氮气环境，设备空载）。