高真空电子束蒸发镀膜机
产品概述：高真空电子束蒸发镀膜系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热阻蒸发组件、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成，自动控制软件系统。
设备用途：电子束蒸发可以蒸发高熔点材料，比一般电阻加热蒸发热效率高、 束流密度大、蒸发速度快，制成的薄膜纯度高、质量好，厚度可以较准确地控制，可以广泛应用于制备高纯薄膜和导电玻璃等各种光学材料薄膜。
设备用途：电子束蒸发可以蒸发高熔点材料，比一般电阻加热蒸发热效率高、 束流密度大、蒸发速度快，制成的薄膜纯度高、质量好，厚度可以较准确地控制，可以广泛应用于制备高纯薄膜和导电玻璃等各种光学材料薄膜。
设备型号：DLP500-S
设备参数：
真空室结构：方箱式，优质304不锈钢材质，前、后开门结构，前门置于手套箱内水平滑开式，后门为侧开门，便于设备清理维护。
腔体尺寸：500mm×500mm×600mm(L*W*H)
设备尺寸：1200mm×950mm×2000mm(L*W*H)
真空极限：优于（6*10-5）Pa
升压率：≤0.8Pa/h
设备保压：停泵12小时后，设备真空度≤10Pa。
抽速：从大气抽至8.0×10-4Pa所需时间小于40min（设备空载）；从大气抽至8.0×10-4Pa所需时间小于10min（干燥氮气环境，设备空载）。
膜厚不均匀性：≤5％（100*100mm）；
基片台：尺寸：210mm×210mm，带旋转、升降功能，有加热和水冷功能可以选配。
蒸发源：E型电子枪蒸发源，功率10KW、8KW和6KW可选，6穴坩埚。
膜厚控制系统：采用原装进口英福康SQC-310膜厚仪，在线测量镀膜过程中膜厚变化，根据实时膜厚和镀膜速率自动调整蒸发源电源功率，保证镀膜过程接近匀速稳定；
控制方式：PLC+触摸屏控制。
报警及保护：对缺水进行报警并执行相应保护措施
设备特点：
★机械泵前加装过滤网，抽气口加装过滤网、百叶窗等防护件，气路设计避免扬尘
★西门子PLC+触摸屏手自动控制或电脑控制可选，完善的逻辑程序互锁保护及异常报警
★自动控制蒸发源输出
